Sensofar光學(xué)輪廓儀在光學(xué)元件制造中的應(yīng)用 

Sensofar?S?neox 將共聚焦顯微、白光干涉和多焦面疊加三大技術(shù)融合在同一平臺，實現(xiàn)從超光滑到粗糙表面的全場景測量。儀器采用無運(yùn)動部件的微顯示（FLCOS）掃描引擎，保證高速、穩(wěn)定的光路切換。核心光學(xué)部件包括高數(shù)值孔徑（NA?0.95）共聚焦物鏡和可變倍率白光干涉光路，橫向分辨率可達(dá)?0.10?µm，縱向分辨率在?0.1?nm 量級。系統(tǒng)配備 500 萬像素 CMOS 相機(jī)，數(shù)據(jù)傳輸速率 180?fps，單次掃描時間可低至?3?秒。

在光學(xué)元件制造中，S neox通過白光干涉模式實現(xiàn)透鏡曲率半徑與面型誤差的高精度檢測。例如，在光學(xué)鏡片制造中，設(shè)備可測量PV值并識別偏差區(qū)域，自動標(biāo)記并生成分析報告。在棱鏡與反射鏡檢測中，S neox支持偏光等特種物鏡適配，滿足不同角度與偏振狀態(tài)的檢測需求。在薄膜厚度測量方面，設(shè)備可實現(xiàn)5nm-100μm無損檢測，配合偏振編碼技術(shù)分離上下表面信號，保障OLED、AR鍍膜等高精度光學(xué)元件的質(zhì)量控制。軟件內(nèi)置光學(xué)元件專用分析模塊，支持曲率半徑、PV值、表面粗糙度等多參數(shù)自動計算，并生成符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的檢測報告。設(shè)備還支持時間序列掃描功能，可追蹤光學(xué)元件在制造過程中的性能變化，為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支持。