Sensofar輪廓儀微觀世界的多面探索者

產(chǎn)品簡介

Sensofar輪廓儀微觀世界的多面探索者
在材料研究、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，對微觀世界的精確觀測是推動(dòng)技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)。

產(chǎn)品型號：S neox

更新時(shí)間：2026-01-05

廠商性質(zhì)：代理商

訪問量：283

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

三維光學(xué)輪廓儀

BRUKER白光干涉光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR共聚焦白光干涉儀儀光新型共聚焦白光干涉儀 SENSOFAR 3D光學(xué)輪廓儀 SENSOFAR結(jié)構(gòu)光三維輪廓儀 SENSOFAR平面度測量干涉儀 ZYGO三維光學(xué)輪廓儀

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在材料研究、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，對微觀世界的精確觀測是推動(dòng)技術(shù)發(fā)展的重要基礎(chǔ)。Sensofar 三維共聚焦白光干涉光學(xué)輪廓儀中的 S neox 型號，憑借其融合共聚焦、干涉和多焦面疊加的復(fù)合技術(shù)，在各類表面測量場景中展現(xiàn)出優(yōu)勢。Sensofar輪廓儀微觀世界的多面探索者

共聚焦技術(shù)部分，其橫向分辨率可達(dá) 0.10um，這一性能讓臨界尺寸測量變得更為可靠。例如在測量光滑表面時(shí)，能應(yīng)對斜率達(dá) 70° 的工況，而面對粗糙表面，斜率適應(yīng)能力可提升至 86°，無論是精密零件的微小凹槽還是復(fù)合材料的復(fù)雜紋理，都能清晰捕捉。干涉技術(shù)則包含相位差干涉和白光干涉兩種模式：相位差干涉專注于光滑表面的高度形貌測量，亞納米級的精度在不同放大倍數(shù)下均能保持穩(wěn)定，即便是納米級的臺階高度差異也能被識別；白光干涉則以納米級測量精度適用于更多樣化的表面類型，從光學(xué)鏡片的拋光面到金屬工件的切削面，都能提供準(zhǔn)確的高度數(shù)據(jù)。多焦面疊加技術(shù)專為粗糙表面設(shè)計(jì)，不僅測量速度較快，且對大斜率表面的適應(yīng)能力可達(dá) 86°，解決了傳統(tǒng)光學(xué)測量在粗糙表面易出現(xiàn)的信息丟失問題。

設(shè)備的核心光學(xué)元件選用高透光率的優(yōu)質(zhì)光學(xué)材料，配合精密鍍膜工藝，減少光線反射與散射，確保成像清晰度。機(jī)械結(jié)構(gòu)采用輕質(zhì)高強(qiáng)度合金，在保證整體穩(wěn)定性的同時(shí)，降低了設(shè)備搬運(yùn)與安裝的難度。在應(yīng)用方面，它可對金屬、非金屬、復(fù)合材料等多種材料表面進(jìn)行二維和三維觀察測量，尤其在亞納米級粗糙度分析中表現(xiàn)突出。配套的分析軟件支持三維視圖的多角度觀察，能自動(dòng)測量表面結(jié)構(gòu)的高度、寬度、粗糙度等參數(shù)，并生成包含數(shù)據(jù)圖表與三維圖像的詳細(xì)報(bào)告，為后續(xù)分析與決策提供直觀依據(jù)。Sensofar輪廓儀微觀世界的多面探索者

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