BEUKER三維測量白光干涉光學(xué)輪廓儀為微納尺度表面檢測提供高效解決方案。其模塊化設(shè)計(jì)支持靈活配置，滿足多樣化測量需求。布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀：高效測量微納結(jié)構(gòu)

布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)

• 快速掃描：單次測量時間小于3秒，適合批量檢測。

• 多模式分析：支持白光干涉和共聚焦模式切換，適應(yīng)不同反射率樣品。

布魯克三維測量白光干涉光學(xué)輪廓儀關(guān)鍵參數(shù)

• 垂直分辨率：0.1nm

• 最大視場：5mm×5mm

• 重復(fù)性誤差：<1%

布魯克三維測量白光干涉光學(xué)輪廓儀型號推薦

• BKI-250：經(jīng)濟(jì)實(shí)用型，適合教學(xué)與小規(guī)模檢測。

• BKI-350：工業(yè)級配置，抗振動干擾能力強(qiáng)。

布魯克三維測量白光干涉光學(xué)輪廓儀應(yīng)用領(lǐng)域

• 半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測

• MEMS器件形貌分析

• 光學(xué)鍍膜均勻性評估

操作指南

1. 清潔樣品表面以避免雜散光干擾。

2. 根據(jù)樣品特性選擇干涉或共聚焦模式。

3. 使用校準(zhǔn)片定期進(jìn)行設(shè)備校驗(yàn)。

布魯克白光干涉光學(xué)輪廓儀：高效測量微納結(jié)構(gòu)